设计了皮秒激光加工系统，该系统可输出355、532、1064 nm皮秒脉冲激光，单脉冲能量最大1.5 mJ，脉冲宽度9.12 ps。进行了轴向色差补偿设......

微尺度到中尺度,即微小型化的产品具有流动性好、功能卓越、易以较低能耗制造等优点。由于其独特的特点,当今对于微小型化产品的需......

Puts forward a new method in machining microelectrode by electro chemical machining (ECM) and plastic deformed theory. T......

Manufacturing is the primary industry promoting economic and social development. For the past 30 years, the global trend......

微细加工包括特种加工和微细切削加工,在工业、农业、医疗、军事等领域的应用日益广泛。文章阐述了微细加工技术的特点、微细切削......

根据磨料水射流加工的特点，建立了磨料水射流加工的神经网络模型。用训练好的神经网络模型来预测给定加工条件下的进给速度，并根据加......

微细切削加工制造是复杂结构特征微加工的研究趋势，其在航空航天、医疗等精密加工领域有着广泛的应用前景。为加深对于微细铣削加工......

本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展,简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术,对我国MEMS传感......

为满足石英玻璃等非导电硬脆材料微结构的加工需求,对微细电解电火花铣削加工工艺进行了深入的试验研究,在玻璃工件上进行了一系列......

针对深沟槽内结构制作困难的问题,基于单晶硅各向异性腐蚀原理,推导了{100}单晶硅在KOH溶液中无掩模腐蚀过程台阶宽度与无掩模腐蚀......

生物去除法是利用微生物代谢过程中一些复杂的生化反应来达到去除多余材料,加工出其它微细加工方法不能加工出的微小结构.阐述了用......

半导体器件制造过程中通常采用锯片来切割芯片和封装元件。锯片一般只能切割直线轮廓,对于曲线轮廓或复合层材料,锯片切割会遇到很......

提出用超声复合电加工方法制作微小结构，并分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工机理；用微细放电组合技术制作多种截......

微机电系统已成为人们从微观角度认识和改造客观世界的一种高新技术。对于微机电系统,更重要的是微细零件的制造和加工。通过对复......

实验研究了利用进给方向超声振动辅助微细铣削对零件加工尺寸精度的影响。以2A12为实验工件材料,利用一个超声振子带动工件沿进给......

文摘分析旋转超声加工材料去除机理,建立材料去除效率模型,探讨工艺参数对加工效率的影响规律;对压电陶瓷、有机玻璃、玻璃钢、紫......

微细电火花加工在当前微细加工中显示出巨大的发展潜力.通过用自行研制的微细电火花加工系统进行的一系列微细电火花加工实验,对影......

以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体......

从电子工业的角度出发,介绍激光微细加工的应用,包括:激光打标、细导线剥离、微透镜列阵、激光光刻、激光表面改性等,并综述了它们......